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213nm激光器| Model型號 | LLMPS-213 |
| Wavelength (nm)波長 | 213± 1 |
| Operating mode工作模式 | Q-switched pulsed laser |
| Max average power (mW)*輸出功率 | ~80 |
| Single pulse energy (µJ)單脈沖能量 | ~20 |
| Pulse duration (ps)脈寬 | ~ 1000 |
| Peak power (kW)峰值功率 | 20 |
| Rep. rate (kHz) (optional)頻率 | 1~4 |
| Ave power stability (over 4 hours)功率穩(wěn)定性 | <5%, <3%, <2% |
| Transverse mode光斑模式 | TEM00 |
| Beam diameter at the aperture (mm)光斑 | ~ 1.5 |
| Beam divergence, full angle (mrad)發(fā)散角 | < 1.5 |
| Warm-up time (minutes)上升時間 | <5 |
| Beam height from base plate (mm)中心高 | 32 |
| Cooled method (Fan Cooled)制冷 | TC |
| Operating temperature (C)工作溫度 | 15~30 |
| Expected lifetime (hours)壽命 | 10000 |
| Warranty保修 | 1 year |
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