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藍寶石襯底

產(chǎn)品說明：其它晶面如A，R面可定制。該產(chǎn)品規(guī)格：2(50.8mm) 0.4mm ，單面拋光，結(jié)晶方向： 0001 即 c 軸，現(xiàn)貨。接受尺寸定制。藍寶石基片還可用于半導(dǎo)體工業(yè)中的外延片，可以用于制作 LED，更

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其它晶面如A，R面可定制。

該產(chǎn)品規(guī)格：2"(50.8mm)×0.4mm，單面拋光，結(jié)晶方向：<0001>,即c軸，現(xiàn)貨。

接受尺寸定制。

藍寶石基片還可用于半導(dǎo)體工業(yè)中的外延片，可以用于制作LED，更是實驗室科研(作為外延芯片，外延單晶薄膜的基片)。

單面拋光

外延級拋光-參考指標(biāo)

材料 Material	高純度單晶Al2O3
晶向 Orientation	C面（0001）±0.3°
對M軸偏離角度	0.20 ± 0.05°
對A軸偏離角度	0.0 ± 0.1°
直徑 Dismeter	50.8±0.15mm
厚度 Thickness	330μm/430μm±25μm
總厚度偏差TTV	＜10μm
表面總平整度TIR	≦10μm
彎曲度 WARP	≦15μm
翹曲度 BOW	-10 ~ 0μm
定位面方向 Primary Flat Location	A面（11-20）
定位面偏離角度Flat Off-set Angle	0.0 ± 0.2°
定位邊長Primary Flat Length	16±0.5mm
表面粗糙度Frontside Surface Roughness	RA≦3（即Ra≦0.3nm）
背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra)	Ra=0.5~1.0μm

2英寸(50.8mm)*0.43mm，

3英寸(76.2mm)*0.65mm

4英寸(101.6mm)*0.65mm

6英寸(150mm)*1.3mm

D7*0.43mm：D10*0.43mm：D10*0.65mm：D12.7*0.65mm：D15*0.85mm：D25*0.65mm：