172真空紫外光源

LLZW172-10

準(zhǔn)分子光源特點：

□ 單色性好，紫外輸出能量集中，紫外輸出強(qiáng)度高,可達(dá)10mW/cm2；

□ 非相干光有利于大面積加工；

□ 無傳統(tǒng)光源固有的電極腐蝕現(xiàn)象，使用壽命極大加長；

□ 可隨時瞬間開啟熄滅，無需預(yù)熱，無需快門，開關(guān)次數(shù)不影響使用壽命；

□ 開啟和運(yùn)行不受周圍環(huán)境溫度影響；

□ 冷光源，不產(chǎn)生紅外輸出，對被處理對象無明顯加熱效應(yīng)；

□ 綠色環(huán)保。制造無需用汞，無二次污染和廢舊回收處理問題。 

172 nm波長準(zhǔn)分子燈應(yīng)用領(lǐng)域：

波長為172nm的準(zhǔn)分子真空紫外光子能量高達(dá)7.2 eV，足以打開大多數(shù)分子鍵，能實現(xiàn)傳統(tǒng)低壓汞燈很難或根本不能實現(xiàn)的光化學(xué)反應(yīng)，可廣泛應(yīng)用于：

□ 表面清洗?？捎糜诰A和平板顯示器制造的清洗過程，清洗掩摸，去除光刻膠；

□ 表面刻蝕和改性（如聚酰亞胺，氟材料等）；

□ 低溫光化學(xué)氣相沉積(Photo-CVD)。如電子薄膜Ta2O5和HfO2等；

□ 光氧化、光退火。如對電子薄膜SiO2進(jìn)行處理以改善其化學(xué)計量性；

□ 室溫下光催化金屬化。如在塑料表面鍍金屬電極；

□ 表面活化，以增加表面張力和濕潤性；

□ 有機(jī)降解。除總有機(jī)碳（TOC）制取超純水，分解農(nóng)藥殘留，印染廢水的光化學(xué)脫色；

□ 高純臭氧發(fā)生。